Théorie et pratique de la technologie du vide

Objectifs :

• Maîtriser par une connaissance plus approfondie les phénomènes physiques et physico-chimiques qui se déroulent dans une enceinte sous vide
• Concevoir, calculer et réaliser des systèmes sous vide
• Appréhender le choix des pompes et des équipements
• Exploiter au mieux vos installations dans un souci de qualité, d’économie et de respect de l’environnement

Durée :

Code :

Public

• Ingénieurs ou techniciens, utilisateurs des techniques du vide, concernés par la conception, la réalisation, l’exploitation ou la maintenance d’équipements sous vide

Pré requis souhaitable(s)

• Bases de thermodynamique et de physico-chimie

Contenu

Lois physiques

• Rappels de thermodynamique des gaz parfaits et des gaz réels (notions de pression et vide, densité moléculaire, température thermodynamique …)
• Théorie cinétique des gaz (vitesse des molécules, libre parcours moyen, coefficient de collage, temps de séjour …)
• Phénomène de sorption et de désorption
• Lois d’écoulement des gaz (dynamique du pompage, définition du flux gazeux, pertes de charge et conductance)

Production du vide

• Généralités sur le pompage, besoin, débit-volume, vitesse de pompage, vide limite, caractéristiques des pompes, les huiles, la rétrodiffusion …
• Pompes cinétiques (éjecteurs, diffusion, moléculaires et turbomoléculaires, hybrides)
• Pompes à fixation (cryogéniques, ioniques, getters)

Mesure du vide

• Principes généraux : précautions à prendre, positionnement, contamination …
• Les différents capteurs, mesure de pression (de l’atmosphère à l’extrême vide) : manomètre à liquide, mécanique, thermique et ionique
• Analyse des gaz résiduels (spectromètre de masse)

Technologie des systèmes

• Choix des matériaux, traitement des surfaces
• Groupes de pompage (calcul de descente en vide et vide limite)
• Composants et accessoires, enceintes (tubes, vannes et robinets, pièges et baffes, raccords …)
• éléments de maintenance

Détection des fuites

• Définition des fuites, fuites réelles et virtuelles
• Influence sur le procédé (vide limite et contamination)
• Recherche des fuites : différents détecteurs
• Méthodologie